穎特新為你解密意法半導(dǎo)體氣壓傳感器LPS22HB
氣壓傳感器是意法半導(dǎo)體MEMS產(chǎn)品中的一員大將,累計出貨量超過4億顆。在2014年發(fā)布的氣壓傳感器LPS22HB,尺寸僅有2mm x 2mm,并采用了ST的專利技術(shù)全模塑封裝。
正在進(jìn)行的SensorTile開發(fā)大賽中,有很多開發(fā)者針對板上的LPS22HB提出了若干問題,這些問題都具有代表性,在這里整理了問題與相應(yīng)的解答,希望給關(guān)注ST氣壓傳感器市場及應(yīng)用的小伙伴們借鑒。
Q: 這個壓力傳感器封裝很特別,和以前看過的傳感器不一樣。通常壓力傳感器都有一個開孔,里邊會有膜片,這個好象是把膜片放在外邊了,或者那個白色的疑似硅片的東西就是用來檢測壓力的?很想知道這個傳感器的結(jié)構(gòu)和原理。
A: 傳統(tǒng)的氣壓傳感器簡單使用帶孔的鐵殼封裝,ST的full molding技術(shù)——采用通孔硅片將氣壓檢測膜單結(jié)構(gòu)技術(shù)。此種技術(shù)的好處:
1. 保護(hù)內(nèi)部bonding線,抗腐蝕能力提升
2. 減少外部應(yīng)力影響
3. 材質(zhì)的一致性降低了溫度干擾
4. 單片傳感器
5. 高防爆破壓力-內(nèi)在機(jī)械制動器
6. 良好的溫度表現(xiàn)-同一個溫度系數(shù)(只有硅)
7. 更強(qiáng)大和更薄的傳感器
關(guān)于通孔硅膠:表面保護(hù)的硅片和內(nèi)部檢測膜是一體的,亮片上有6個小孔,放大了可以看到,孔更小的話,防塵特性有提升。
Q: 使用放大鏡看了一下表面,沒發(fā)現(xiàn)有小孔呢?
A: 放大倍數(shù)不夠吧。附上LPS22HB 氣孔位置圖,多孔設(shè)計,堵上1-2完全不影響使用 ?资峭ㄟ^IC蝕刻工藝打上去的,控制孔徑,蝕刻深度。
Q: LPS22HB的測量結(jié)果第一天數(shù)據(jù)還算正常,第二天就不對了,而且看傳感器的量程 260 ~ 1260,現(xiàn)在測量值已經(jīng)超過了量程。
A: 如下圖所示,芯片上面類似鏡面的區(qū)域,可不要弄壞弄臟了。所以氣壓計一般不能放在通氣口處,容易進(jìn)灰塵?茨愕臄(shù)據(jù)跟正常的相差好大,看樣子是氣壓計硬件異常。像其他人說的,怎么清洗或吹一下,看什么情況下可以恢復(fù),再進(jìn)一步判斷問題原因。
Q: 測量的結(jié)果每天室內(nèi)同樣高度都變化的,海平面壓強(qiáng)變化應(yīng)該和溫度有關(guān),有溫度補償算法嗎?
A: LPS22HBTR 已經(jīng)內(nèi)置溫度補償了。氣壓傳感器測高度只是用來測相對高度的變化,不能準(zhǔn)確測試海拔高度?梢杂嬎愫0胃叨,誤差在米級單位。
A: 氣壓值時時刻刻都在變化。同一個地方同一個位置,每天的氣壓值都是不同的,甚至1小時前跟1小時后都是不同的。這都是正常現(xiàn)象。所以氣象局每天固定間隔一定時間都會報一次當(dāng)?shù)卮髿鈮褐岛秃F矫鏆鈮褐怠?/p>
Q: 氣壓不是會隨其他環(huán)境參數(shù)變化么?那還能通過氣壓測量絕對海拔么?
A: 可以通過讀取氣象站數(shù)據(jù)計算或者在參考點上放置第二個用于校準(zhǔn)的傳感器。
A: 現(xiàn)階段的氣壓傳感器主要用于相對高度測量,氣壓的誤差問題通過補償和多傳感器融合解決。
Q: 發(fā)現(xiàn)氣壓傳感器的數(shù)據(jù)有不小的跳動。
A: LPS22HBP noise RMS pressure sensing noise with embedded filtering情況下達(dá)到 0.0075 hPaRMS精度。LPS22HB內(nèi)置LowPass Filter功能,看看有沒有打開(讀寄存器0x10的EN_LPFP和LPFP_CFG位)。
編輯:admin 最后修改時間:2019-04-30