村田3D MEMS技術的優(yōu)點
3D MEMS (3D Micro-Electro-Mechanical-System—3維微機電系統(tǒng)) 通過創(chuàng)造性地結合相關技術，將硅材料加工成3維結構并進行密封，使之便于安裝和組裝并具有精度高、單位體積小、功耗低的特點。被裝配在微小的硅材料內部的先進傳感器，能夠對相互垂直的3個軸向的加速度進行測量。
利用3D MEMS技術，研制出了高精度傾角傳感器的理想的構造。如通過在內部的加速度傳感器內增設機械衰減機制，使得傾角傳感器和高分辨率測高計即使在強烈震動的環(huán)境中也能正常工作。這些傳感器產品的耗電量極低，這一優(yōu)勢在通過電池驅動的設備中能夠很明顯的體現出來。
所開發(fā)的傾斜計采用了3D MEMS技術，在角度檢測時能夠達到小于1分的精度等級，可從容應對較高級別的水平度測量，在性能方面優(yōu)于其他所有的MEMS技術。優(yōu)異的性能與微安級的耗電量相結合，使之成為了無線應用的理想選擇。
村田3D MEMS技術的優(yōu)點
單晶硅
- 理想的彈性材料，無塑性形變，可承受70,000g的力。
電容式感應
- 對慣性質體的位置變化進行直接測量
- 兩平面間多樣性的面間距
- 電容C (一對平面間的電荷存儲容量) 是由面間距d和面積A決定的
- C = e0×A/d
- 高精度、良好的穩(wěn)定性，并且由于使用的電容器數量少易于實現自我診斷。
- 耗電量低
密封結構
- 所需的外殼尺寸小。
- 可靠性: 粉末顆；蚬こ淘噭┑入s質不會侵入產品內部。
對稱結構
- 加速度傳感器的零點穩(wěn)定性、更好的線性和它軸靈敏度
- 溫度特性低于0.2mg/℃
- 非線性的標準值低于1%
- 他軸靈敏度的標準值低于3%
定制品
- 可根據應用場合調整至特定的靈敏度和頻率響應
- 靈活的兩片式構造
真正意義上的3D結構
- 大慣性質體，憑借大容量實現高性能、低重力加速度的檢測
- 零點穩(wěn)定性和噪聲性能
- 使3D傳感元件成為可能
深圳市穎特新科技有限公司專業(yè)銷售村田系列傳感器，有相應的技術支持，銷售熱線：0755-82591179
編輯：admin 最后修改時間：2019-03-07
